Пробоподготовка для СЭМ: SEMPrep 2 (модель SC-2000)

Описание

Установка SEMPrep 2 (модель SC-2000) предназначена для:

• подготовки поперечных сечений методом наклонного среза с помощью высокоэнергичной ионной пушки;
• точной юстировки области травления;
• финальной полировка и очистки поверхности ионной пушкой низкой энергии;
• подготовки неповрежденной поверхности для EBSD исследований.

Возможности применения для многослойных образцов, полупроводников наноструктур, высокотемпературных сверхпроводников, композитных материалов, алмазных пленок, стекол и многих других материалов.

Модель SC-2000 оборудована одновременно как высокоэнергетичной ионной пушкой, так и ионной пушкой низкой энергии. Выполнение точного и аккуратного наклонного среза выбранной области поверхности образца с помощью ионной пушки высокой энергии с последующей процедурой деликатной очистки поверхности среза пушкой низкой энергии. Данная геометрия поперечного сечения чрезвычайно удобна для анализа с применением СЭМ, например отказов в полупроводниковом производстве или других аналитических задачах промышленности. Прибор также способен выполнять ионную очистку поверхности образцов после циклов механической обработки и полировки с целью подготовки бездефектной поверхности для EBSD исследований. Новейшая ионная пушка повышенной энергии до 16 кэВ стала мощнее и обладает большей скоростью травления, чем прежде.