23.09.2026 Система вакуумной фильтрации: как устроена и из чего собрать

Как работает вакуумная фильтрация в лаборатории и какие воронки, фильтры, колбы и насосы нужны для полноценной системы — разбор с готовыми комплектами от UED Group.

11.06.2026 Камера тепло-холод-влажность для климатических испытаний материалов

Что такое климатические испытания, какие отрасли их применяют и как выбрать камеру постоянной температуры и влажности. Обзор моделей серии UED для электроники, автопрома и авиакосмоса.

22.05.2026 Климатическая камера для растений или инкубатор: в чём разница

Сравниваем фитотрон и лабораторный инкубатор — чем отличаются, для каких задач подходит каждый, и обзор моделей климатических камер серии UED.

Атомарные источники

Описание товара:

Атомные источники MATS генерируют индуктивно связанную плазму для последующей диссоциации различных газов, таких как азот, кислород, водород и другие молекулярные газы. Посредством высокочастотной катушки (13,56 МГц) энергия передается в плазму, что приводит к образованию "мягкой" плазмы, обладающей небольшой энергией ионов.

Описание товара

Описание

Индуктивно связанная плазма, которая образуется в источнике атомов MATS, используется для диссоциации водорода, кислорода, азота и прочих молекулярных газов. Энергия в плазму передается через высокочастотную катушку (13,56 МГц), благодаря чему плазма генерируется «мягкая», то есть ионы обладают небольшой энергией.

Атомарный источник MATS генерирует поток с высоким процентом электрически нейтральных атомов, являющихся оптимальной средой для эпитаксиального роста оксидов и нитридов.

Благодаря низкой кинетической энергии и высокой реакционной способности радикалов эпитаксиальная структура не разрушается. Незначительное количество ионов неизбежно образуется в ходе диссоциации, однако на источнике атомов MATS можно добиться нейтрального заряда достигающего подложки потока. Для этого достаточно установить дополнительные пластины, которые будут отклонять частицы с зарядами.

Основная сфера применения атомарных источников MATS – скоростное образование Al2O3, GaInAs, GaN и других тонкопленочных соединений.

Применения

Молекулярно-пучковая эпитаксия: оксиды, нитриды
Импульсное лазерное напыление: нитриды
МПЭ: разбавление соединений AIIIBIV нитридами
МПЭ: легирование соединений AIIIBIV оксидами
МПЭ: легирование соединений AIIBVI нитридами

Технические характеристики

Модель	MATS30	MATS60
Монтажный фланец	NW63CF	NW100CF
Мощность RF	30-600Вт	30-600Вт
Диаметр в вакууме	57мм	96мм
Длина в вакууме (стандартная)	290мм	290мм
Совместимые газы	O2, N2, H2, CH4...	O2, N2, H2, CH4...
Поток газа	0,1-10sccm	0,1-10sccm
Мин. охлаждение	Вода 0,5 л/мин	Вода 0,5 л/мин

Атомарные источники

Описание товара:

Описание товара

Описание

Технические характеристики

Похожие товары (8)