Электронно-лучевой испаритель

Описание

Электронно-лучевые испарители часто используются в тех случаях, когда необходимо работать с материалами плохо поддающимися испарению классическим термовакуумным испарением. Ускоренные электроны направляются в сторону испаряемого материала и тем самым увеличивают его температуру. В отличие от традиционных методов радиационного или косвенного нагрева, данный метод лишен верхнего предела температуры которую можно сообщить мишени. Электронно лучевые испарители модели TAU для систем HEX отлично зарекомендовали себя в тех случаях, когда необходим максимальный контроль скорости напыление при небольших потоках материала, а также если необходима минимизация загрязнения потока испаряемого материала, что особенно важно в таких областях как физика поверхности или, например, легирование тонких пленок. Для решения такого рода задач имеются как одно-, так и четырех-карманные версии электронно-лучевых испарителей.

• HEX

• Электронно-лучевое испарение
• Физика поверхности
• Легирование тонких пленок
• Обучение вакуумной технологии

Технические характеристики

Модель	TAU
Количество карманов	1 или 4
Максимальная мощность	250 Вт
Датчик потока	встроен
Размеры тигля, мм3	100, 210, 390
Диаметр стержня, мм3	2 мм