Молекулярные источники

Описание

Молекулярные источники ComCell серии типа эффузионных ячеек Кнудсена были разработаны специально для приложений молекулярно-пучковой эпитаксии и смежных с ней приложений, в которых требуется высокая чистота и точность испарения материалов в условиях сверх высокого вакуума.

Все источники оснащены контуром водяного охлаждения для обеспечения минимальной дегазации в процессе работы. Все части источника, находящиеся в горячей зоне, изготовлены либо из тугоплавких материалов, либо из высокочистого пиролитического нитрида бора.
 
Источники ComCell серии могут быть выполнены в различных вариантах: для работы с низкими и высокими температурами. В зависимости от испаряемых материалов и максимальной рабочей температуры мы предлагаем тигли из различных материалов - PBN, А1203 или ВеО.
 
Применения

• Молекулярно-пучковая эпитаксия
• Композитные пленки
• Легирование

Технические характеристики

Модель	ComCell10-500	ComCell10-1300	ComCell35-1300
Монтажный фланец	NW63CF	NW63CF	NW63CF
Макс. рабочая температура	600С	1400С	1400С
Макс. рабочая температура   (длительная работа)	500С	1300С	1300С
Макс. выходная мощность	400Вт	600Вт	750Вт
Диаметр в вакууме	50мм	50мм	60мм
Длина в вакууме   (стандартная)	300мм	300мм	300мм
Объем тигля	10cc	10cc	35cc
Мин. охлаждение	Вода 0,5 л/мин	Вода 0,5 л/мин	Вода 0,5 л/мин