Газовый крекинг

Описание

Источники газового крекинга серии MGC, используя капиллярные трубки, обеспечивают эффективную диссоциацию молекулярных газов при относительно низких температурах, а использование металлических соединений в конструкции источников позволяет осуществлять его отжиг до 250°С, что делает возможным их использование в условия сверхвысокого вакуума.

Источники серии MGC идеально подходят для небольших скоростей потока от 0 до 1 ст.см3. Механизм каталитического крекинга обеспечивает эффективность крекинга двухатомного водорода более 90% при малых мощностях (75 Вт) и температурах ниже 1000°С. Головка источника эффективно охлаждается водой, обеспечивая минимальную дегазацию и тепловую нагрузку на ростовую камеру.
 
Применения

• Обработка атомарным водородом
• Пассивация поверхности
• Молекулярно-пучковая эпитаксия
• Легирование
• Оксидные пленки

Технические характеристики

Модель	MGC-75
Монтажный фланец	NW35CF
Макс. мощность   (требуемая для оптимального крекинга)	75Вт
Эффективность крекинга	до 90% (H2)
Диаметр в вакууме	32мм
Длина в вакууме   (стандартная)	200мм
Совместимые газы	O2, H2
Поток газа	0-1sccm
Мин. охлаждение	Вода 0,5 л/мин