QUAD-EV – четырехкарманный электронно-лучевой испаритель

Описание

Электронно-лучевые испарители EV серии, как и все источники Mantis Deposition, разрабатывались с учетом работы в условиях сверхвысокого вакуума. Основное их применение – работа с материалами, трудно испаряемыми другими методами.Источники QUAD-EV серии в базовой комплектации оснащаются системой контроля потока, что позволяет точно контролировать количество испаряемого материала. Это обеспечивает точное дозирование и высокий контроль над скоростью осаждения.
Конструктивно четырехкарманные источники модели QUAD-EV имеют независимые нити накала и системы контроля потока на каждый карман, что позволяет реализовать испарение различных материалов из разных карманов, а также режим совместного испарения для формирования слоев со сложной структурой.
Испаряемые материалы могут быть как в виде стержней, так и помещаться в тигли для дальнейшего испарения.
 
Применения

• Металлизация
• Обратная (взрывная) литография
• Легирование в приложениях молекулярно-пучковой эпитаксии
• Сложные многослойные покрытия

Опции

• Испарение из тиглей
• Ручная или моторизированная заслонка
• Фиксированный наклон на 90°
• Автоматизация с помощью ПО
• Четыре блока питания на выбор

Технические характеристики

Модель	QUAD-EV-C	QUAD-EV-HP
Монтажный фланец	NW35CF	NW63CF
Количество карманов	4	4
Максимальная мощность	250 Вт	500 Вт
Длина в вакуумной камере	200 мм	200 мм
Диаметр в вакуумной камере	34 мм	57 мм
Размер тигля	210, 390, 1000 мм3	210, 390, 1000 мм3
Датчик потока	Да	Да
Охлаждение	Водяное (0,5 л/мин)	Водяное (0,5 л/мин)